マイクロサーミルガス質量流量計

マイクロガス質量流量流量計は、さまざまな小流量ガスの測定およびプロセス制御のために特別に設計されています。

このシリーズのセンサーはすべて、最先端のマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）フローセンシングチップで作られています。測定できる最小流量は0.6Nm³/hであり、最高精度は1.0%に達します。この流量メーターは乾燥したガス用であり、温度や圧力の補正は不要で、温度ドリフトが小さく、50MSの高速反応です。スマートなLCD表示画面は、デジタルデータを明確かつ直感的に表示し、読み取りが簡単です。双方向流量モニタリング機能があり、測定範囲内では高い精度と良好な再現性があります。独自のパッケージ技術により、さまざまな管径で使用でき、コストが低く、設置が簡単で、伝統的な体積式または差圧流量計を置き換えることができます。計数メートル